氦檢漏設(shè)備在科技時代的市場應(yīng)用和發(fā)展
2024.02.01
1.較小的檢漏率：即氦檢漏設(shè)備能檢測到較小的檢漏率。
2.響應(yīng)清除時間：當(dāng)一定流量的探測氣體進入氦質(zhì)譜泄漏檢測器時，電子系統(tǒng)和真空系統(tǒng)需要一定的響應(yīng)時間，泄漏指示器可以達到大值，泄漏指示器不能立即恢復(fù)到零，需要一定時間才能下降，通常由于氦吸附和解吸，去除時間略長于響應(yīng)時間。
3.啟動時間：氦檢漏設(shè)備開啟電源與能檢測到泄漏之間的時間。
氦檢漏設(shè)備的檢漏方式通常有兩種，一種為常規(guī)檢漏，另一種為逆擴散檢漏。
逆擴散檢漏是把被檢件接在分子泵出氣口一端，漏入的氦氣由分子泵出氣口逆著泵的排氣方向進入安裝在泵的進氣口端的質(zhì)譜管內(nèi)而被檢測。
這一檢漏方式是基于分子泵對不同質(zhì)量的氣體具有不同壓縮比(氣體在分子泵出氣口壓強與進氣口壓強之比)即利用不同氣體的逆擴散程度不同程度而設(shè)計的。
